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  为服务企业创新主体地位，面向企业“卡脖子”技术难题，河创院组织实施了三批84项校企合作项目，惠及96家企业，1300余名工大师生与企业技术人员共同奋斗在创新一线，身体力行落实教育科技人才一体化，初步形成了“人才陪伴、设备共享、经费众筹”三位一体的“共享”科技创新赋能产业创新经验做法。

   2026年2月3日，新一批校企合作项目顺利完成答辩验收。即日起，河创院继续推出系列报道，邀请大家一同回顾校企合作产出的丰硕成果及其背后的故事。第十二期，让我们走进由河创院创新博猫登录博猫登录app与合作企业共同合作实施的《集成电路铜通孔平坦化技术与材料》项目。

   TSV（硅通孔）技术是实现三维集成、提升器件性能的核心技术之一，其关键技术——化学机械平坦化（CMP）材料长期依赖进口，被国外“卡脖子”。当前面临高稀释比下高铜去除速率、高平坦化、绿色环保、双氧水分解导致的速率不稳定、表面缺陷难以控制等难题。河创院精准识别产业痛点，迅速组织潘国峰教授带领的微电子超精密加工创新博猫登录博猫登录app与合作企业深度对接。三方围绕技术攻关、产品研发、工程验证展开研讨，快速达成协同攻关共识，建立联合研发机制：博猫登录博猫登录app负责应用基础理论研究与抛光液研发；合作企业提供验证设备与产线数据。共识达成后，各方迅速启动为期两年的协同攻关。

   经过两年的联合攻关，项目博猫登录博猫登录app在核心技术、科研成果、人才培养和产业化应用等方面取得了一系列显著成效：

   1.高速平坦破垄断 国产抛光助自控

   博猫登录博猫登录app攻克了高稀释比下高铜速率、高选择性平坦化等世界性难题。采用国产原料自主研发的铜粗抛液铜去除速率突破10000?/min以上，铜钛选择比大于100，表面质量优异；TSV铜阻挡层抛光液，可有效降低通孔深度，去除速率不低于1000?/min，Cu:Ti:TEOS去除速率选择比≈1:1:1，无明显界面“虎牙”及表面腐蚀缺陷。抛光后表面粗糙度保持在纳米级以下，无界面腐蚀，有效减小dishing和erosion效应，为高端MEMS传感器自主可控提供了底层工艺支点。

   2.理论实践双赋能 专利论文齐丰收

   项目注重理论创新与工程应用深度融合，申请发明专利5项（其中授权3项），获批团体标准1项；联合承办“2024平坦化技术大会暨海峡两岸平坦化技术论坛”，两岸与会260人。公开发表SCI期刊论文29篇（另有4-5篇在审），影响因子最高达10.383。研究成果“高端芯片新型互连金属化学机械抛光的腐蚀与表面调控机理”获2025中国腐蚀与防护学会自然科学一等奖。形成了从基础理论、核心配方到行业规范的完整知识产权体系。

   3.科研铸队强根基 校企协同育人才

   项目博猫登录博猫登录app由2名教授、1名研究员、1名副研究员、1名副教授、4名博士教师及3名企业工程师组成，9名硕士生参与抛光液测试与工艺验证。依托项目培养博士生3名、硕士生20名、本科生15名，指导博士生获校“学术之星”、中国科协青年人才托举工程博士生专项计划，指导本科生获天津市金相大赛个人二等奖及全国大学生金相技能大赛三等奖。实现了科研攻关与高水平人才培养的深度融合。

  4.绿色环保降成本 自主替代保安全

   项目研发的两款绿色环保抛光液（铜膜粗抛液、TSV铜阻挡层抛光液）已成功推广至企业线上验证。粗抛液在铜去除速率、表面质量上达到国际先进水平；阻挡层抛光液对钛去除速率达1500?/min，铜钛选择比1:1.2，稳定性测试7天内粒径及Zeta电位无明显变化。产品售价仅为商用产品的0.5倍，国产辅料比例100%，打破国外技术封锁，支撑产业链安全自主可控。成果已在合作企业等开展小批量及中试验证，为高端传感器、先进封装提供了关键材料与工艺支点，助力半导体行业突破“卡脖子”封锁。